半導(dǎo)體晶片退火爐 管式加熱爐把實(shí)驗(yàn)的氣體通入爐管中，管子的兩端由閥門密封，氣體在加熱中可以分解、化合等多種化學(xué)反應(yīng)。充氣時(shí)由閥門控制流量計(jì)、質(zhì)量流量計(jì)、壓力表等監(jiān)控。

爐膛材料全部采用高純氧化鋁纖維板/進(jìn)口摩根纖維制作而成，節(jié)能效果是老式電爐80%以上。

電壓V

380

型號(hào)

SRD-1700GSL

設(shè)計(jì)溫度

1000度、1200度 、1400度、1600度、1700度、1800度

可長(zhǎng)期使用溫度

950度、1150度、1350度、1550度、1650度、1750度

控溫精度

±1度（集成化電路控制，無(wú)*調(diào)現(xiàn)象）

控制范圍為

50至1800度

測(cè)溫元件

熱電偶分度號(hào)：K,測(cè)溫范圍0-13850度；S,測(cè)溫范圍0-1450度；B,測(cè)溫范圍0-1850度

發(fā)熱元件裝位置

平行/垂直安裝于爐膛兩側(cè)

爐溫均勻性

±1度（根據(jù)爐膛尺寸大小而定,大型爐膛可采用多點(diǎn)控溫）

爐管材質(zhì)

石英管/不銹鋼管/剛玉管

控制

微電腦程序控制功能，可以輸入設(shè)定：可同時(shí)輸入多條曲線，使用時(shí)可任意調(diào)用

發(fā)熱元件

硅碳棒/硅鉬棒

升溫速率

升溫速率可自由調(diào)節(jié)，調(diào)節(jié)范圍：升溫速率每分鐘40度（40度/min）、慢升溫速率每小時(shí)1度（1度/h）

耐火材料

高純氧化鋁纖維/進(jìn)口摩根纖維

冷卻結(jié)構(gòu)

雙層爐殼，風(fēng)冷；爐體溫度≤45度

計(jì)算機(jī)接口(選配）

RS485/RS232/USB

保修范圍及期限

電爐*保修壹年，發(fā)熱元件、爐管、熱電偶不保修（發(fā)熱元件三個(gè)月內(nèi)自然損壞*更換）

隨機(jī)備件

發(fā)熱元件兩支、棒具兩套，說(shuō)明書一份，合格證一份，高溫手套一副，密封圈兩個(gè)。